集成电路的工序之复杂与精细堪称人类工业文明的皇冠，，而光刻机则是这个皇冠上的明珠。。。

随着半导体产业不断迭代，
，其加工工艺亦面临重重挑战。。。。而在芯片生产过程中******的挑战之一，，即是光刻工艺，，，其决定了芯片晶体管尺寸的大小，，
，，从而直接影响芯片性能和功耗。。作为光刻技术的关键设备
，，光刻机单台价值量高达上亿美元，，，其购置成本达到半导体设备总投资的20%以上，，，，是芯片制造前道工艺七大设备之首。。

光刻机之复杂程度堪称人类科技之巅。。。一方面，，
，，光刻机制造是多学科交织的极其复杂的工程
，，，，其研发集成了精密光学
、、、精密运动学、
、、高精度微环境控制、、、算法、、、微电子
、、、高精度测控等多学科全球最顶尖工程师和科学家的智慧。。另一方面，，，光刻机是一整套完整的纳米工业体系，，，要产出纳米级精度的芯片，，，
，需要其背后的光源系统、、光学镜头系统、
、、精密运动和环境控制系统
、、、测量系统、、、聚焦系统、、对准系统等模块全部达到纳米级精度，，并且高度集成和协同，，，
，每一个子系统的技术迭代成果均蕴含了该领域最前沿的高精尖技术。。。毫不夸张地说，，，光刻机是人类工业文明的巅峰之作
，，，，是现代工业体系皇冠上的明珠。。。

光刻机这颗璀璨的明珠是ASML博采众家之长和持续高强度战略投入的结晶。。。。

自上世纪80年代起，，
，围绕着光刻机分辨率、
、、套刻精度、
、、、生产效率等关键要素的提升
，，，一批光刻机制造商相继展开角逐。。而ASML凭借双工件台
、、、
、浸没式技术和EUV的里程碑式重大突破
，，，，一步步将光刻工艺推向新的高度
。
。。当前，，，ASML独占全球中高端光刻设备出货量的95% ，，，成为当之无愧的全球光刻设备霸主。。

综观ASML崛起的历史，，其之所以能用30年时间建立极高的壁垒
，，
，，离不开其高强度投入和供应链整合。。。一方面，
，，，ASML极为重视技术更新迭代，
，一直投入大量资金，，并最终转化为技术护城河。。ASML研发支出多年持续上涨
，，2022年研发支出已达到241.50亿元。。另一方面
，，，，ASML利用已有的制造业产业链打造自己的生态体系。
。。。在上游端
，，，ASML通过收购与投资40余家产业链核心优质公司以占据技术制高点
；在下游端
，，
，，ASML与英特尔
、、、、台积电和三星等巨头开展深度合作，，，举众多半导体龙头企业之力推动其光刻机的迭代出新
。。
。

景气周期&自主可控驱动成长，
，，国内厂商逢山开道砥砺前行
。
。。

据SIA数据显示
，，
，，2023年9月全球半导体销售额环比增长1.9%，
，至此，，
，，全球半导体销售额已实现连续七个月的环比增长，，，半导体景气回升或已接近破晓时分。。

与此同时，，，AI芯片、
、、高性能计算、、汽车等领域的强劲需求持续推动半导体资本开支的增长
，，SEMI指出，，，，自2024年起全球前端的300mm晶圆厂设备支出将恢复增长，
，，，预计2024年增长12%至820亿美元，，，2025年增长24%至1019亿美元，，，，并在2026年达到1188亿美元的历史新高。。。
。鉴于光刻机产业链极高的技术壁垒，，，以及不可或缺的产业地位，，，在海外对华先进技术严密管控的当下，，
，该领域的自主可控具有十分紧迫的战略价值。。。。

工欲善其事，，，必先利其器。。。。虽然起步较晚
，，且基础薄弱
，，，，但国内光刻机产业链从业者正在积极追赶，，，补足短板，，，
，并在相关零部件
、、、光学部件
、、、激光器件、
、、双工件台
、、、
、掩膜版等领域取得一定进展
。
。。。假以时日，，随着国内半导体产业链上下游协同攻关，，产业政策积极引导，
，，，以及多方资本有力加持，，，国产光刻机及相关供应链有望顺利扬帆，，并为科技信息产业发展保驾护航。
。

投资建议：建议关注光刻机产业链整机及相关零部件公司，，，，包括：上海微电子（未上市）、、、华卓精科（未上市）、、、、科益虹源（未上市）、、
、、苏大维格、、、晶方科技、
、、新莱应材、、
、、腾景科技、、茂莱光学、、、炬光科技
、、、福晶科技、
、、
、福光股份、、、、美埃科技
、、清溢光电、、
、
、路维光电、、芯碁微装。。
。。

风险提示：下游需求不及预期风险、
、、、相关企业业务开展不及预期风险、、设备国产化进程不及预期风险、、、半导体行业资本开支不及预期
、、、地缘政治风险。。。

知前沿，，，，问智研。。智研咨询是中国一流产业咨询机构，
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转自华福证券有限责任公司 研究员：杨钟

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